主要清洗半導(dǎo)體行業(yè)的金屬零部件,在加工過(guò)程中出現(xiàn)的油污,灰塵等污染物。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代電子工業(yè)的核心,而半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)是硅材料工業(yè)。雖然有各種各樣新型的半導(dǎo)體材料不斷出現(xiàn),但 90%以上的半導(dǎo)體器件和電路,尤其是超大規(guī)模集成電路(ULSI)都是制作在高純優(yōu)質(zhì)的硅單晶拋光片和外延片上的。
普通的清洗方法一般不能達(dá)到孔內(nèi),而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會(huì)在后序工藝中會(huì)產(chǎn)生重復(fù)污染。無(wú)論是采用有機(jī)溶劑或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用超聲波清洗技術(shù)卻可以實(shí)現(xiàn)無(wú)重復(fù)污染,而且能深入MCP孔內(nèi)的效果。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、一體式設(shè)計(jì),緊湊,操作方便;
2、流動(dòng)式操作,避免產(chǎn)品刮花;
3、配置過(guò)濾系統(tǒng),有效節(jié)約水源;
4、不銹鋼網(wǎng)帶傳輸,清洗效果徹底,清洗效率超高;
5、配置油水分離及過(guò)濾系統(tǒng),提供清洗劑的利用率;
6、操作簡(jiǎn)單,具有手動(dòng)和自動(dòng)轉(zhuǎn)換功能;
7、PLC全程式控制,清洗+干燥;